Christian StrengerHerstellung und Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldeffekttransistoren auf 4H-Siliciumcarbid | |
ISBN: | 978-3-8440-3495-0 |
Reeks: | Erlanger Berichte Mikroelektronik Uitgever: Prof. Dr.-Ing. H. Ryssel en Prof. Dr. rer. nat. L. Frey Erlangen |
Volume: | 2015,2 |
Trefwoorden: | Transistor; SiC; EELS; MOSFET |
Soort publicatie: | Dissertatie |
Taal: | Duits |
Pagina's: | 194 pagina's |
Gewicht: | 287 g |
Formaat: | 21 x 14,8 cm |
Bindung: | Softcover |
Prijs: | 48,80 € / 61,00 SFr |
Verschijningsdatum: | Maart 2015 |
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Samenvatting | Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Herstellung und der Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldefekttransistoren auf der Siliciumseite von 4H-Siliciumcarbid (4H-SiC). |